|
VARIAN - Pompy Turbomolekularne |
 |
 |
 |
|
There are no translations available.
| Turbo- V 81 M | Wlot | Prędkość
pompowania
[l/s] | Współczynnik
kompresji | Ciśnienie
końcowe
[mbar] | Prędkość
obrotowa
[rpm] | Zalecana pompa wstępna | | 
| DN 40 | Azot: 50
Hel: 56
Wodór: 46 | Azot: 5 x 108
Hel: 8 x 104
Wodór: 7 x 103 | Z zalecaną pompą rotacyjną:
5 x 10-10
Z zalecaną pompą bezolejową:
5 x 10-9 | 80000 | Rotacyjna:
DS 42, DS 102
Bezolejowa:
SH-110, IDP-3 | | DN 63 | Azot:
Hel:
Wodór: | Azot:
Hel:
Wodór: | Z zalecaną pompą rotacyjną:
Z zalecaną pompą bezolejową: | 80000 | Rotacyjna:
Bezolejowa: |
|
